Raman spectra; boron; incoherent light annealing; ion implantation; nondestructive testing; rapid thermal annealing; recrystallisation annealing; silicon; Raman evaluation; Si:B; crystal quality; crystalline lattice image; millisecond flash annealing; noncontact char;
机译:超浅离子注入硅退火过程中注入的重元素损失:完整图景
机译:时域和时域组合光载流子辐射特性表征退火温度对砷离子注入硅晶片的依赖性
机译:离子注入和热退火硅片的频域和时域光载流子联合辐射表征
机译:退火前后超浅离子注入硅晶片的晶体质量的非接触,非破坏性表征
机译:退火离子注入碳化硅材料和器件的特性。
机译:碳化硅基体中硅纳米晶的快速热退火和结晶机理研究
机译:离子注入和激光退火与重叠脉冲实现EFG多晶硅太阳电池的sEm表征
机译:具有sIpOs(半绝缘多晶硅)异质结发射极和离子注入快速热退火基区的高频硅双极晶体管