laser beam annealing; metallisation; nickel compounds; ohmic contacts; rapid thermal annealing; titanium compounds; 600 C; LTA; Ni(Ti) silicides formation; Nilt; subgt; 3lt; /subgt; Silt; subgt; 2lt; /subgt; RTA; Ti; TiOlt; subgt; xlt; /subgt; laser annealing; laser fluence; nickel silicide formation;
机译:通过脉冲激光退火形成的Pt掺杂的Ni-硅化物膜:微观结构演化和热稳健Ni1-xptxSi2形成
机译:激光诱导的Ni(Ti)硅化物形成
机译:等时退火后原位椭偏法形成钛硅化物
机译:激光退火Ni(Ti)硅化物的形成
机译:铟镓锌氧化物:毫秒激光尖峰退火过程中的相形成和结晶动力学
机译:Ti-6Al-4V合金不同温度退火后Ni / Cu / Ni涂层的摩擦学性能。
机译:准分子激光退火形成硅化镍
机译:pt,pd和Ni硅化物中离子轰击损伤的产生和退火