electric resistance measurement; laser beam annealing; semiconductor junctions; annealing process; implanted wafers; laser annealed wafers; microfabricated four-point probes; microscale sheet resistance measurements; microscopic four-point probes; tip-to-tip spac;
机译:使用非穿透式四点探针进行超浅结(USJ)薄层电阻测量
机译:基于尺寸的四点探针薄层电阻在激光退火超浅结上的测量比较研究
机译:超浅结的非接触薄层电阻和泄漏电流映射
机译:超浅结上的微米级薄层电阻测量
机译:低电阻超浅结形成的新方法。
机译:薄板中超声波液体渗透率的测量-物理机理和解释
机译:激光退火超浅结的尺寸依赖四点探针薄层电阻测量的对比研究