一种超灵敏场效应型触觉传感器及其在微尺寸物体探测方面的应用

摘要

本发明公开了一种超灵敏场效应型触觉传感器的制备方法及其对微尺寸物体的探测。该超灵敏场效应型触觉传感器，包括衬底、栅极、绝缘层、半导体层(传感层)和源漏电极，其中，所述传感层为有机微纳单晶。本发明使用场效应晶体管中最为敏感的半导体层为传感层，再结合栅极的放大作用实现了微尺寸物体的质量探测，其探测最低值可达到纳克量级，同时也实现了对未接触物体的识别，包括接近的原子力探针针尖和人类手指。该触觉传感器具有超高的灵敏度和稳定性，且功耗较低。