机译:Ni / Si(100)薄膜的快速热退火在850℃形成的硅化镍薄膜的结构和电学特性
机译:通过在硅和多晶硅衬底上对Ni / Ir双层进行热退火而使铱插入的硅化镍的性能
机译:通过对硅和多晶硅衬底上的Ni / Ir双层进行热退火而将铱插入的镍硅化物的性能
机译:NI层厚度和退火时间对快速热处理硅化镍形成的影响
机译:使用脉冲阴极电弧沉积和快速热退火制备C54钛硅化物薄膜。
机译:厚度和热退火对原子层沉积氧化铝薄膜折射率的影响
机译:通过快速热退火Ni / Si(1 0 0)薄膜在850°C形成的硅化镍薄膜的结构和电特性
机译:通过离子束混合和快速热退火形成选择性钨硅化物