ナノ熱プローブセンサの作製手法と伝熱解析

摘要

そこで我々はプローブ材料として機械的に強靭で高い熱伝導性も期待できるカーボンナノチューブ(CNT)やSiC ナノワイヤ(NW)を用いる接触型のナノ熱プローブセンサを考案した．このセンサはFujii らのホットフィルムを用いたT字一体型ナノセンサを発展させたもので，プローブとして用いるNW の熱伝導率を計測した上で，ナノスケールの表面温度センシング，さらには物質内部の熱物性計測や局所加熱として利用することができる．今回はMEMS 技術を用いた本センサの作製手法及び本センサの伝熱特性の解析結果について報告する．