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机译:压电型纳米定位阶段精密位置的模糊自适应滑模控制
机译:基于步进-压电的共激励范例,用于并行火花微放电加工中的刀具定位
机译:纳米制造机用干涉测量技术的超精密闭环压电定位
机译:压电式纳米定位器中磁滞的迭代学习控制:理论和在原子力显微镜中的应用。
机译:同步加速器和FEL光束线的光栅:柏林Helmholtz Zentrum制造超精密光栅的项目
机译:纳米精度的定位需要高科技的纳米定位和纳米测量机以及最佳的机器设置