MOCVD; Al_2O_3; kinetics; FT-IR;
机译:根据反应条件和反应气体,使用二甲基异丙醇铝作为前驱体优化Al_2O_3的生长
机译:等离子体辅助原子层控制沉积法制备氧化铝(Al_2O_3)薄膜及其表征
机译:单源前驱体Hf(BH_4)_4的HfB_2薄膜的CVD生长动力学
机译:使用铝二甲基异丙氧化铝作为前体的Al_2O_3薄膜的动力学生长
机译:机械,表面化学和氮化铝薄膜新型前驱体的生长研究。
机译:前体的研磨时间对喷涂铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)薄膜物理性能的影响
机译:锌三氟乙酯前体透明导电铝掺杂氧化锌薄膜的气溶胶辅助化学气相沉积