DRAM chips; integrated circuit measurement; integrated circuit testing; ellipsometry; thin films; thickness measurement; metal-0 trench; DRAM chips; spectroscopic ellipsometry; profile technology; nondestructive profile information; thin film measurement;
机译:基于Ta_2O_5堆的界面层和组成深度分布的椭圆偏振光谱
机译:使用红外光谱椭偏仪探测磷注入锗中的载流子浓度分布
机译:实时椭圆偏振光谱法评估混合相(非晶+晶体)硅膜中的成分深度分布
机译:通过基于椭偏光谱的轮廓技术测量DRAM的金属0沟槽的四个轮廓参数的可行性
机译:图像扫描椭圆仪的设计,开发和应用,用于测量薄膜厚度轮廓。
机译:使用基于椭偏仪的无标记聚糖微阵列检测平台表征甲型流感病毒的受体结合谱
机译:离子注入引起的特殊损伤特征,通过椭圆偏振光谱法测定了晶体和松弛(退火)非晶硅中的离子注入
机译:国家医疗支出调查NmEs3 IpC可行性研究:按时间顺序排列的替代数据收集策略;按时间顺序排列的替代数据收集策略的比较