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MULTI CHANNEL OPTICAL PROFILER BASED ON ELLIPSOMETRY

机译:基于椭圆仪的多通道光学轮廓仪

摘要

The present invention relates to a multi-channel optical profiler based on ellipsometry.
机译:基于椭圆偏振的多通道光学轮廓仪技术领域本发明涉及基于椭圆偏振的多通道光学轮廓仪。

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