MEMS; micromechanical; X-ray; grating; interferometry; comb drive; phase constrast;
机译:用于基于MEMS的光学显微光谱仪的成像衍射光栅的制造
机译:具有另一种材料表面光栅晶体X射线衍射动态理论
机译:基于光栅的全息衍射方法,用于X射线和中子:相物对象近似和动力学理论
机译:XMEMS:MEMS技术的动态衍射光栅用于X射线成像应用
机译:线X射线源,用于在临床和工业应用中进行衍射增强成像。
机译:用于星载成像光谱应用的MEMS可调衍射光栅
机译:XMEMS:MEMS技术的动态衍射光栅,用于X射线成像应用