silicon; single crystal; microdefect; defect-contrast etching;
机译:通过优先刻蚀技术在单晶硅中揭示微缺陷的某些特征
机译:通过优先刻蚀和孔分析揭示碳氧化硅的纳米域结构
机译:通过单晶硅的金属辅助化学蚀刻形成的半导体结构的表面区域的特征
机译:通过优先刻蚀技术在单晶硅中揭示微缺陷的某些特征
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:电化学刻蚀制备多孔硅的形貌和纳米结构特征
机译:4.单晶倾角法在硅微缺陷研究中的应用