机译:碳氟等离子体在硅衬底上刻蚀SiO_2的过程中等离子体引起的损伤分布的建模与仿真
机译:结合等离子体模拟,鞘层模型和化学反应模型的可预测的C5F8气体蚀刻SiO2的形貌模拟
机译:SF_6 + O_2等离子体中Si和SiO_2刻蚀的模拟
机译:SF / sub 6 //氩气中Si和SiO / sub 2 /的等离子刻蚀的综合反应器建模和模拟
机译:电感耦合碳氟化合物等离子体中的氧化物蚀刻:化学和反应器模拟。
机译:腔室壁对使用循环Ar / C4F8等离子体的氟碳辅助的SiO2原子层蚀刻的影响
机译:微电子等离子体蚀刻反应器的建模与仿真