空気圧駆動系におけるデッドゾーン補償のための差動流量2自由度制御

摘要

空気圧ァクチユエータは精密な軌道追従制御が難しいー方で軽量,低発熱,低コストという特長を持つ。そのため単純なpoint to pointの動きが求められる産業用機械に適用されてきた(1)。さらに近年ではその特長を活かすため,軌道追従が求められるロボットや医療機器,大型位置決め装置への応用も期待され,そのための研究が行われている。このうち特に液晶ディスプレイなどを製造する位置決め装置では,スループット向上と品質向上のため高速高精度に動かすことが求められるー方で,より大型の製品を作るために装置の大型化も進hでいる(2)。現在の装置構成では粗動ステージにリニアモータが用いられているが,発熱や推力不足が深刻なため達成できる加速度とサイズに限界がある。これに対し空圧シリンダではその問題が少ないため,大型装置の粗動ステージへの適用が期待されている。