振幅変調距離制御下における周波数変調静電気力検出によるKPFM測定

摘要

【はじめに】 ケルビンプローブフォース顕微鏡法(KPFM)は高い空間分解能と高いポテンシャル検出感度を有することから、試料表面のポテンシャル計測法として広く用いられている。KPFMの測定モードとして、最も一般的で普及しているのは、探針-試料間距離制御とポテンシャル計測をともに振幅変調（AM）検出で行うAM-AM KPFMであるが、近年、周波数変調モード（FM）が用いられるようになってから、原子・分子分解能のKPFM画像の取得が可能となり、表面物理的な議論にも多用されるようになった。