機械学習を用いて設計したL3ナノ共振器の作製・評価 (2)

摘要

[序] 我々は2次元フォトニック結晶を用いた共振器の高Q値化に、理論と実験の両面から取り組hできた。特にマルチヘテロ共振器に関して、10億を超える理論Q値と1100万を超える実験Q値を実現している 1)。一方、L3共振器は空気孔を3個埋めた共振器であり、マルチヘテロ共振器と比較して、フットプリントおよびモード体積が小さいという特長をもつ。L3共振器に関してはこれまで、漏れ分布可視化に基づく共振器周辺の孔位置の調整により、理論Q値420万、実験Q値210万が達成されている 2), 3)。さらに我々は機械学習に基づく繰り返し探索によりL3共振器において理論Q値2900万を達成し 4), 5)、前回、この構造をSOI基板を用いて作製した結果について報告した 6)。今回、さらなる詳細な評価を行ったので報告する。