真空バルブにおける交流電圧印加条件の違いが帯電分布に与える影響

摘要

本稿では交流電圧の印加条件が絶縁物上の帯電に与える影響を調査することを目的に，電界緩和シールド付き真空バルブにおける各種電圧印加条件下の帯電分布を調査した。以下に結果をまとめる。 1)電圧印加により最初は同軸円筒形のシールド電極においても帯電に偏りが生じ，その後印加電圧を昇圧することで帯電の偏りが小さくなる。