compensation; micromechanical resonators; microsensors; pressure measurement; pressure sensors; silicon compounds; MEMS technology; SiN; frequency drift; porous silicon sacrificial layer technology; resonant frequency measurement; silicon-rich SiN beams; single crys;
机译:具有温度补偿的电热激发双光束硅谐振压力传感器
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机译:在谐振PECVD氮化硅微结构上具有温度补偿的全光学压力传感器
机译:氮化硅梁谐振压力传感器进行温度补偿的设计与建模
机译:基于聚合物的微型法布里 - 珀罗压力传感器,具有温度补偿:建模,制造和实验研究
机译:具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:适用于石英体声波化学传感器的谐振传感器的自洽温度补偿