汎用E 型コアを用いた超精密機械用大推力リニアモータ

摘要

回転機を切り開いた構造が基本であるリニアモータの歴史は長いが， 根本的な磁気回路構造の大きな変化は少ない。産業界の装置大型化に従ってコア付きリニアモータの宿命である大きな磁気吸引力に負けない均一なエアギャップを維持するためには，モータ取り付けベースと可動テーブルの支持機構を含めた構造設計負担が大きくなる。磁気吸引力を相殺する両側式コア付リニアモータは，構造が複雑でリニアモータシステム全体が重くなる。一方，コアを持たないコアレスリニアモータはコア付リニアモータに比べて推力密度が小さくて発熱も大きい課題がある。