水蒸気雰囲気下における金属化合物の熱分解挙動

摘要

金属化合物を水蒸気雰囲気で熱分解させることで酸化反応温度が下がることが分かった。これは、ミストCVD法において原料の酸化反応温度よりも低温で薄膜が形成されるある種の要因ではないかと考えている。当日の発表では、ほかの金属化合物の実験結果や、H2Oだけではなくほかの雰囲気に制御した際の実験結果なども合わせて報告する。