電極水平対向配置における 準大気圧定常ヘリウムアーク放電プラズマの特性評価

摘要

ヘリウム（He）プラズマ照射で得られるタングステン表面の繊維状ナノ構造(1)は，完全黒体に近い放射特性を有する等，様々な産業応用のポテンシャルを有している。一方, 将来の産業応用を見据えて，従来の低ガス圧プラズマ装置に比べて低コストで高密度プラズマの生成が可能なプラズマ源の開発とそれによる繊維状ナノ構造形成が期待される。我々はこれらの背景の下，大気圧近傍下で定常He アーク放電プラズマを生成・照射する装置を開発している(2)。本講演では真空容器内に設置した水平対向電極間に生成した準大気圧He アーク放電特性について発表する。