電極水平対向配置における 準大気圧定常ヘリウムアーク放電プラズマの特性評価（Ⅱ）

摘要

ヘリウム（He）プラズマ照射で得られるタングステン（W）表面の繊維状ナノ構造は，完全黒体に近い放射特性を有する等，様々な産業応用のポテンシャルを有している。一方,将来の産業応用を見据えて，従来の低ガス圧プラズマ装置に比べて低コストで高密度プラズマの生成が可能なプラズマ源の開発とそれによる繊維状ナノ構造形成が期待される。