プラズマスパッタ型イオン源によるAlN~+ 生成の検証

摘要

プラズマスパッタ型イオン源を用いて窒化アルミニウムイオン（AlN~+）を生成する実験的研究を継続中である．マグネトロンスパッタ型Al ターゲット表面にN_2 放電により形成されたAlN 層をスパッタすることで，AlN~+ ビームを引き出す．これまでは質量数の大きいArを用いて放電を形成してきたが，ビームを計測する際に質量スペクトル上での分離が明確でない場合もあった．これはAlN~+ の質量数が41 でありAr~+ の質量数が40 と隣接していることが原因である．そのため，質量数20 であるNe での放電を行うことによりAlN~+ 電流量を正確に計測し，イオン生成の基礎課程を調査する事にした．