レーザプリントパターンをエッチングマスクとするフレキシブル電極作製法

摘要

フレキシブル電極基板はウェアラブルなセンサを作製するための重要な素材である。センサの開発初期において,電極パターンを設計後に即座に基板を得られれば開発サイクルが迅速化される。フレキシブル電極基板を簡単に作製する方法として,フォトレジストがコーティングされた既製の銅メッキ基板を用いる方法があるが,基板や電極の厚みを自由に制御することができない。そこで,我々はこれまでにレーザプリンタと電子ビーム蒸着を組み合わせた電極基板作製法を開発してきた(1)。この方法によりハンダ付け可能な基板が作製可能であり,実際にこの方法で作製した電極シートを用いてこれまでにせh断力センサ(2)やトルクセンサ(3)を開発してきた。しかし,この方法で作製した電極は薄膜であり,若干の抵抗を有していたため,試作できるセンサに制約があった。そこで,レーザプリンタ,電子ビーム蒸着,電解メッキ,ウェットエッチングを組み合わせたフレキシブル電極基板作製法を開発した。電極シート作製法の概要を図 1 に示す。トナーをエッチングマスクとする方法は以前よりあり,マイクロチャンネルの形成などに使用されているが(4),今回の我々の方法は,フレキシブル基板作製法としてハンダ付けが可能であり導電性も確保され,かつ少ない加工手順であることが特徴である。