SU-8/Cu複合材料のヒータ特性評価および微小管運動への応用

摘要

半導体製造技術を基に製作されるMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)分野においては，軽量性や低コスト化を実現でき，優れた機械特性を有するポリマー材料が広く用いられている。ポリマー材料であるシリコーンゴムやエポキシ樹脂は，チップ上で細胞培養を行うシステムや，化学反応および試料分析をおこなうマイクロデバイスとして使用されている。特に，ネガ型フォトレジストのSU-8は紫外線硬化型エポキシ榭脂であり，フォトマスクを用いたー般的なフォトリソグラフィによって所望のマイクロパターンを高アスぺクト比で製作できるため，微細な流路構造やアクチユエータとして利用されている。