冗長支持除振台に対する故障検知·故障診断システムの一設計

摘要

アクティブ除振台の設計時には，一般に除振対象物の大きさや重量に応じて支持要素（ァクチユエータ）の数や位置を設計する。特に対象物の寸法が大きいとき，テーブルの大型化に伴い配置されるァクチユエータの数が増加し，操作量の数が制御量の数を超える場合がある。このような除振台を本研究では冗長支持除振台と呼ぶ。冗長支持除振台では，いずれかのァクチユエータが故障した際にも残る止常なァクチユエータにより制御動作を続けることが原理上可能である。除振台において，故障による除振性能の劣化を防止できれば大変有益であると考えられる。こうした観点から，前田らは故障時に必要となる力を止常なァクチユエータに再分配する制御手法を提案している。ただし現状では前述の研究を除いて冗長支持除振台に関する研究はほとhど報告されていない。また先行研究では，故障が生じた際にその部位に関する情報が直ちに利用できることを前提としており，故障検知ゃ故障部位特定（FDI:fault-detection and isolation)の方法については言及されていない。