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【24h】

差分進化を用いた位置決めステージの摩擦同定

机译:基于差分进化的定位平台摩擦识别

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摘要

電子機器の高機能化及び小型化に伴い,使用部品の微細加工技術の開発が進められている.このような背景からェ作機械や半導体露光装置など精密機械で用いられるステージでは高速·高精度な位置決めが求められている.位置決めを行う際に課題となるのがステージとガイド間で生じる摩擦である.モデルに基づいて摩擦を補償するためにはそのパラメータを同定する必要がある.しかし,非線形性を有している摩擦を正確に同定するのは困難である.
机译:随着电子设备功能的不断增强和微型化,用于用过的零件的微细加工技术的发展正在进行中,在这种背景下,高速和高精度平台被用于诸如制造机器和半导体曝光设备之类的精密机器中。定位面临的挑战是平台和导向之间发生的摩擦,为了补偿基于模型的摩擦,有必要确定其参数,很难准确地确定具有非线性的摩擦。

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