CMOS互換フォトニック結晶共振器によるモニタリング用送受信器素子の開発

摘要

我々はシリカクラッドされた高Q値フォトニック結晶共振器型p-i-nダイオードを作製し，CMOS互換性のある全シリコン製の送受信機を実証した.フォトニック結晶共振器型の変調器ではDC消費電力が1μW以下が実現できた.デバイスサイズは50 μm~2であり5.9×10~(-18)Fの微小な電気容量が可能となった.光子の検出は2光子吸収によって行われる.我々は-3 Vにおいて37.6 pAという小さな暗電流を達成した.また，受信機の最小検出可能パワーは-20dBmであった.ノイズが少なく消費電力が小さいことに加え，微小サイズで作製できるので光ネットワークのモニタリングを行う用途に用いることができる.また，フォトリソグラフィを用いることによりデバイスの作製コス卜が抑えられ生産性が向上した.