3ω法によるSiナノピラー/Si_(70)Ge_(30)複合材料の熱伝導率測定

摘要

熱伝導率の測定は,熱電村料の性能指数Zを決定する上で必要であるが、一般的に薄膜試料では，レーザーフラッシュ法や定常法による測定で熱伝導率を求めることは難しい.このような薄膜試料の熱伝導率を求める方法の一つとして，3w法が知られている.そこで，本研究ではSiナノピラー/Si_(70)Ge_(30)複合材料の熱伝導率を評価する為に，幅の異なる金属線ヒータ一を載せた試料を用いて，3w法による測定によって厚さ方向の熱伝導率を評価する.