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首页> 外文会议>第15回日本熱電学会学術講演会 >3ω法によるSiナノピラー/Si_(70)Ge_(30)複合材料の熱伝導率測定
【24h】

3ω法によるSiナノピラー/Si_(70)Ge_(30)複合材料の熱伝導率測定

机译：3ω法测量Si纳米柱/ Si_（70）Ge_（30）复合材料的导热系数

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摘要

熱伝導率の測定は,熱電村料の性能指数Zを決定する上で必要であるが、一般的に薄膜試料では，レーザーフラッシュ法や定常法による測定で熱伝導率を求めることは難しい.このような薄膜試料の熱伝導率を求める方法の一つとして，3w法が知られている.そこで，本研究ではSiナノピラー/Si_(70)Ge_(30)複合材料の熱伝導率を評価する為に，幅の異なる金属線ヒータ一を載せた試料を用いて，3w法による測定によって厚さ方向の熱伝導率を評価する.
机译：导热率的测量是确定热电材料的品质因数Z所必需的，但是通常难以通过激光闪光法或稳态方法获得薄膜样品的导热率。 3w法是获得此类薄膜样品热导率的方法之一，因此，本研究采用Si纳米柱/ Si_（70）Ge_（30）复合材料的热导率。为了评估该比率，使用安装有不同宽度的金属线加热器的样品，通过3w法评估厚度方向上的热导率。

著录项

  • 来源
  • 会议地点
  • 作者

    久保山瑛哲; 山本淳; 村田正行; 遠藤和彦; 大堀大介; 寒川誠二;

  • 作者单位

    東京理科大学;

    東京都葛飾区新宿6-3-1,産業技術総合研究所;

    茨城県つくば巿梅園1-1-1;

    産業技術総合研究所;

    茨城県つくば巿梅園1-1-1;

    産業技術総合研究所;

    茨城県つくば巿梅園1-1-1;

    産業技術総合研究所;

    茨城県つくば巿梅園1-1-1;

    東北大学;

    宮城県仙台巿胄葉区片平2-1-1;

    東北大学;

    宮城県仙台巿胄葉区片平2-1-1;

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