スパッタリング法によるニッケルチタン形状記憶合金ナノ結晶の作製

摘要

我々は、金属ナノファイバで報告されている幾つかの作製方法の内で，ポーラスアルミナ表面に薄膜を蒸着して、アルミナ表面にあるナノサイズの円筒状の細孔を転写した報告に着目した。形状記憶合金では，合金組成を0.1パーセントの精度で制御することが求められ，合金化には物理的な混合が必要である。物理プロセスであるスパッタリングでは，最近この組成制御が実現されているので，スパッタリングでポーラスアルミナ上に薄膜を形成すればナノ細孔への充填が起こりナノ結晶の作製が可能であろう，という着想から本研究の実施に至った。