顕微ラマン分光法によるサブミクロン領域の応力成分のマッピング測定

摘要

本研究では，第一に，応力成分の同定を行うための理論と必要なパラメーターを明らかにし，ラマン分光測定によりその決定を試みた．第二に，決定されたパラメーターを用い，サブミクロン領域の応力成分の同定を試みた．最後に，多結晶アルミナを対象に結晶粒内の応力マッピング測定を行った．