微小球光共振を用いた形状標準のナノ精度計測

摘要

マイクロスケールの3次元形状計測では、計測不確かさの要因は多く、校正などによる計測性能の向上は不可欠である。本研究では、形状標準となる1mm以下のスケールの球体直径をナノスケールで計測する手法確立を目指し、光共振の一つであるWhispering gallery mode共振を用いた計測原理を提案している。本報では、その基礎原理について述べ基本的な計測性能について実験的に検証を行った。