初歩的な半導体プロセス教育へのTCADの応用

摘要

TCADを用いて半導体プロセス，デバイス構造，集積回路及び電気的特性を修得することができる教育システムを構築した。TCADを用いることで時間と学習コストを節約• することができた。また，様々な'条件でシミュレーションを行い，それらを比較検討することにより上記の理解を深めることができる教育システムを構築することができた。本教育システムは，視覚的に学べる要素が多いため大学院生や大学生だけでなく，高校生に対しても実施できると考えられる。このためTCADを用いた半導体プロセスの教育システムは有用であると考えられる。