NIL; nanoimprint lithography; RLT; residual layer thickness; OCD; scatterometry; hybrid metrology; proxy;
机译:使用纳米压印光刻技术开发用于高级电子设备的紫外线交联葡萄糖基抗蚀剂材料
机译:薄聚二甲基硅氧烷印章的复制及其在3D混合纳米/微图案双纳米压印光刻中的应用
机译:基于混合纳米压印软光刻的近零残留层纳米压印
机译:先进的混合计量方法在纳米压印光刻中的应用
机译:用于纳米压印光刻的新型模具制造方法以及纳米结构在光学和电子领域的一些应用。
机译:等离子应用的金纳米结构阵列:退火岛膜与纳米压印光刻
机译:使用衍射测定的卷辊紫外线辅助纳米压印光刻的在线计量