nanoimprint; NIL; template; inspection; metrology; residual layer; RLT;
机译:下一代光刻所需的计量和检查
机译:使用衍射法的卷对卷UV辅助纳米压印光刻的在线计量
机译:利用金属尖端的近场光学增强技术对纳米压印光刻残留层进行纳米厚度检测的研究
机译:纳米压印光刻所需的计量和检查
机译:分步和快速压印光刻:低压,室温纳米压印光刻。
机译:纳米压印光刻初始层选择的指导图表
机译:使用衍射测定的卷辊紫外线辅助纳米压印光刻的在线计量