Coherent diffraction imaging; ptychography; 13 nm imaging; actinic inspection; reflection mode imaging; high NA; sub-wavelength imaging; mask inspection;
机译:使用台式EUV指纹图谱对接近波长极限的表面进行高对比度3D成像
机译:结构照明显微镜,通过亚波长孔阵列实现非凡的透射
机译:结构照明显微镜,通过亚波长孔阵列实现非凡的透射
机译:通过PTychography CDI与13nm照明的子波长传输和反射模式曲线成像
机译:桌面上的纳米级EUV显微镜:基于具有高谐波照明的相干衍射成像的普通透射和反射模式显微镜
机译:纳米图案的相干台式EUV指纹图谱
机译:桌上型纳米级EUV显微镜:基于具有高谐波照明的相干衍射成像的常规透射和反射模式显微镜