metrology; gaps analysis; critical dimension; defect; films; CD-SEM; OCD; X-ray; EBI; overlay;
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机译:计量能力和7 nm和5 nm逻辑节点的需求
机译:用于亚22纳米节点数字CMOS逻辑技术的基于锗的量子阱沟道MOSFET的工艺集成和性能评估
机译:国际环境。科学技术卫生监测和政策杂志。卷1数字1/2。测量环境放射性的计量学需求
机译:使用模糊逻辑,高级决策支持技术,本地操作网络能力和智能卡技术的综合智能建筑室内环境管理系统的设计与实现
机译:地波应急网络最终运行能力。中央明尼苏达州中继节点的环境评估。站点编号RN 8C935mN。