Ultraviolet sources; Tools; Lithography; Imaging; Resists; Nonhomogeneous media;
机译:巴斯夫&UC Berkeley扩展了研究合作
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机译:高NA EUV光刻中的波导效应:将EUV光刻扩展到4 nm节点的关键
机译:伯克利实验室的EUV可扩展性研究
机译:具有台式高谐波产生量的EUV显微镜来源:将相干衍射成像推广到透射,反射和高光谱模态中的扩展样品。
机译:Neosartorya glabra中非常规的metererpenoidoid基因簇的激活导致产生新的伯克乙缩醛
机译:伯克利实验室0.5NA EUV MicroField曝光工具的概述和状态