RtoR直描露光装置を用いた有機トランジスタ湿式作製プロセスの開発

摘要

無電解めつき法を活用し、フレキシブル基板上に有機薄膜トランジスタ(OTFT)を作製するプロセスを開発した。加えて、開発したロールツーロール直接描画露光装置を用い、A4型の大面積フレキシブル基板上にOTFTを作製することに成功した。