解像力1.2μmG6露光装置の開発

摘要

我々はこれまでに、FPD用のリソグラフィとしてDeep UV (DUV)露光光源を用いることで、高解像 力と高生産性を両立する露光方法を提案してきた。本論文では、DUV露光光源を採用したプレートサイズG6用 露光装置の開発コンセプトを紹介し、テスト露光機によるテスト露光結果を示す。