インターディジタル形状の対向電極を用いた静電型エナジーハーべスタ

摘要

本研究では静電型エナジーハーべスタの高出力化のために対向電極をインターディジタル形状に分割し，倍密度化させた構造を提案した。有限要素法による解析結果から，静電容量変化量が従来構造の3倍となることを示した。実際にデバイスを作製し，実測結果から加速度3g，振動周波数350Hzでそれぞれの対向電極から16μW，11μWの出力を確認した。デバイスを電力管理ICと接続し，15秒間隔で規定電圧を出力することを確認した。