MEMS; Fabry-Perot interferometer; high temperature pressure; fiber-optic;
机译:用于高温施用的批量生产MEMS光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:用于高温应用的低温共烧陶瓷技术光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:基于蓝宝石直接键合的光纤法布里 - 珀罗压力传感器进行高温应用
机译:MEMS光纤法布里 - 珀罗压力传感器,用于高温施用
机译:基于低相干干涉法的光纤Fabry-Perot温度传感器系统。
机译:适用于高温应用的无隔膜光纤法布里-珀罗干涉式气压传感器
机译:隔膜 - 无光纤法布里 - 珀罗干涉气体压力传感器用于高温施用
机译:采用硅法布里 - 珀罗腔的高分辨率和快速响应光纤温度传感器。