Silicon photonics; Micromechanical devices; Optical switches; Optical waveguides; Optical ring resonators; Standards; Hafnium;
机译:用于发布的光学MEMS的管芯级后处理的新技术
机译:用于射频微机电系统的硅中腔下方干燥释放的厚SiO / sub 2 /块的制造
机译:表面/本体微加工(SBM)工艺:在单晶硅中制造释放的MEMS的新方法
机译:硅光子MEMS的模具水平释放
机译:具有光子晶体镜的单晶硅光学MEMS
机译:基于体硅的单芯片光子收发器作为用于光学互连的芯片级光子I / O平台
机译:形态:由硅光子MEMS使能的可编程光子电路