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Single Crystalline Silicon Optical MEMS with Photonic Crystal Mirrors

机译：具有光子晶体镜的单晶硅光学MEMS

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作者
Wong, Yu-Po.;
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作者单位

Stanford University.;

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授予单位 Stanford University.;
学科
学位 Ph.D.
年度 2018
页码 117 p.
总页数 117
原文格式 PDF
正文语种 eng
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