grapho-epitaxial directed self-assembly; lamellar block copolymer; line-and-space pattern;
机译:含硅嵌段共聚物在低于10 nm的定向自组装中减少缺陷的化学/图形-外延混合混合排列策略
机译:含硅嵌段共聚物在低于10 nm的定向自组装中减少缺陷的化学/图形-外延混合混合排列策略
机译:纳米约束下层状嵌段共聚物的行为:对低于10 nm结构的形貌定向自组装的影响
机译:层状嵌段共聚物的石墨外延定向自组装形成亚10纳米线和空间
机译:嵌段共聚物和三元嵌段共聚物/均聚物共混物在化学图案化表面上的定向自组装成面向装置的几何形状。
机译:通过自组装形成层状聚苯乙烯嵌段聚(二甲基硅氧烷)二嵌段共聚物通过纳米压印光刻技术制备的纳米图案。
机译:用于嵌段共聚物定向自组装的亚10 nm无阻纳米光刻