block copolymer; directed self-assembly; contact angle; resistless; electron beam; chemoepitaxy; guiding patterns;
机译:通过无抗蚀剂直接电子束曝光创建用于嵌段共聚物定向自组装的引导图案
机译:用于嵌段共聚物定向自组装的亚10 nm无阻纳米光刻
机译:用于嵌段共聚物定向自组装的亚10 nm无阻纳米光刻
机译:通过无抗蚀剂直接电子束曝光创建用于嵌段共聚物的定向自组装的引导图案
机译:嵌段共聚物和三元嵌段共聚物/均聚物共混物在化学图案化表面上的定向自组装成面向装置的几何形状。
机译:原子薄石墨烯化学图案上嵌段共聚物薄膜的定向自组装
机译:用于嵌段共聚物定向自组装的亚10 nm无阻纳米光刻