Surface deformation; Lithography; Zernike polynomials;
机译:具有Zernike多项式表面的反射投影镜头的设计
机译:使用Zernike多项式描述薄立方材料中的各向同性和各向异性平面外变形
机译:使用Zernike多项式描述薄立方材料中的各向同性和各向异性平面外变形
机译:Zernike多项式对光刻物镜表面变形的模拟
机译:使用Zernike多项式对自由曲面的中空间频率进行表征和指定。
机译:2D Zernike多项式扩张:找到蛋白质 - 蛋白质结合区域
机译:使用Zernike多项式和隐形眼镜的像差