LED光刻机物镜垂向基准变化的影响分析

摘要

cqvip:物镜是LED光刻机的核心部件,物镜的物面和像面是工件台、掩模台、照明等分系统集成的关键基准。物镜集成时可选用的垂向集成基准有像面、物面、物镜法兰面等。物镜集成基准的变化,会对这些分系统的集成在成本、进度和效率等方面带来影响。需要进行全面分析,来确定具体的影响内容,为规避影响提供依据。基于物镜垂向集成基准从像面变更为物镜法兰面进行影响分析。通过尺寸链分解的方法展开影响分析。根据这两种基准,分别对这些分系统的垂向集成误差建立了尺寸链,根据尺寸链梳理两组间的差异项,再分析差异项在设计、工艺流程、装配等方面的影响。通过分析,给出了物镜基准变更对工件台、掩模台、硅片对准、照明等分系统的具体影响内容。