RF MEMS Switch; RF-MEMS-Platform; SiCer; Silicon-On-Ceramic; flexibel parallel-plate Switch;
机译:合并平行板和悬浮执行器以实现静电MEMS的线性和可调性
机译:合并平行板和悬浮致动器,以使静电MEMS的线性和可调性能够实现
机译:平行板静电驱动MEMS谐振器的节能全栅振荡分析
机译:硅陶瓷复合材料上的静电平行板MEMS开关
机译:MEMS静电平行板致动器的控制。
机译:严重欠阻尼边缘场静电MEMS执行器的改善开关时间的实时直流动态偏置方法
机译:平行板静电驱动mEms谐振器的节能全程振荡分析
机译:用于微波系统的微电磁系统(mEms)静电开关技术。